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- [发明专利]受损电介质材料和电介质膜的修复和恢复-CN200480002723.X无效
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W·范;V·卢;M·托马斯;B·丹尼尔斯;T·阮;D·L·周;A·纳曼;L·金;A·巴纳普
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霍尼韦尔国际公司
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2004-01-26
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2006-03-01
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H01L21/47
- 本文描述了修复材料中的孔隙的方法，该方法包括：a)提供具有大量活性硅烷醇基团的材料；b)提供至少一种活性表面改性剂；和c)使用所述至少一种活性表面改性剂将至少一部分所述的大量活性硅烷醇基团化学封端。本文还描述了恢复材料中的碳的方法，该方法包括：a)提供具有大量活性硅烷醇基团的碳缺乏材料；b)提供至少一种活性表面改性剂；和c)使用所述至少一种活性表面改性剂将至少一部分所述的大量活性硅烷醇基团化学封端另外，本文还描述了减少薄膜和/或碳缺乏薄膜缩合的方法，该方法包括：a)提供具有大量活性硅烷醇基团的薄膜；b)将所述薄膜置于等离子室中；c)向等离子室中引入大量含有活性有机基团的硅烷；以及d)使所述硅烷与至少一部分所述活性硅烷醇基团发生反应本文还描述了一类电介质材料和低介电常数的电介质材料，该材料包括：a)具有大量硅原子的无机材料；和b)大量含有有机基团的硅烷化合物，其中所述硅烷化合物通过至少一部分硅原子与所述无机材料偶联。
- 受损电介质材料修复恢复
- [发明专利]一种圆柱形材料表面大量杂质去除设备-CN202110768344.7在审
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陈雨珊
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陈雨珊
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2021-07-07
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2021-09-17
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B24B27/033
- 本发明涉及一种去除设备，尤其涉及一种圆柱形材料表面大量杂质去除设备。需要设计一种能够方便人们对圆柱形材料进行去除杂质，工作效率高，且省时省力的圆柱形材料表面大量杂质去除设备。一种圆柱形材料表面大量杂质去除设备，包括有：底座，底座一侧设有空心固定框；第一固定架，第一固定架安装在底座上。本发明通过驱动机构和滑动机构的配合，将一根材料放置在左右两侧弧形导向架后方之间，启动电机，再拉动第一固定块向前移动带动材料向前移动，材料向前移动与滚槽筒接触，左右两侧滚槽筒转动配合对材料进行杂质去除，如此，可方便人们对圆柱形材料进行去除杂质，工作效率高。
- 一种圆柱形材料表面大量杂质去除设备
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